משאבת ואקום היא מכונת נוזלים המוציאה גז מתא ואקום ליצירת ואקום. זה בסיסי לפעולות תהליכים שונות. להלן כמה יישומים נפוצים:
1. מחקר מדעי ומעבדות: משאבות ואקום נמצאות בשימוש נרחב בציוד כמו מערכות תצהיר אדי כימי (CVD), מיקרוסקופים של כוח אטומי (AFM) וסריקת מיקרוסקופי אלקטרונים (SEM) כדי לספק את סביבת הוואקום הנדרשת.
2. רפואה: כמה מכשירים רפואיים, כמו מכונות המודיאליזה ומאווררים, דורשים משאבות ואקום שיסייעו בטיפול בחולים.
3. ענף מוליכים למחצה: במהלך ייצור מוליכים למחצה, נדרשת כמות גדולה של ציוד ואקום לעיבוד פליקי סיליקון וחומרים אחרים. לדוגמה, במהלך תהליך החמצון התרמי של פרוס הסיליקון, יש צורך במשאבות ואקום כדי לשלוט על האטמוספירה והלחץ.
4. חיי היומיום: כמה מכשירי חשמל ביתיים משתמשים גם בטכנולוגיית ואקום כדי לשפר את ביצועי המוצר ואיכותם. לדוגמה, המנוע בשואב ואקום פועל על בסיס עקרון לחץ ואקום.